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Diffractive Optical Element
Diffractive Optical Element
The laser will become spots after going through DOE, and DOE has ITO on backside to reach safety function as it will cut off laser once glass is broken.
技术规格
  • 规格
    主要技术参数
  • Lithographic pattern
    Min line width 20um
  • Alignment accuracy
    ±5um
  • DOE accuracy
    CD>0.2um
  • Electrical performance
    ±15%
  • Diffraction efficiency
    >70%
  • Uniformity
    <30%（size 7x11）
  • Strength
    ±20%（size 7x11）
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